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位移臺的參數解析

更新時間:2023-03-08      瀏覽次數:2195

位移臺的參數解析


 


1.分辨率(最小位移):位移臺的位移量,比如位移臺最小位移是5mm,那么如果輸入一個1mm的運動量時,位移臺無法運動

2.單向定位精度:也稱定位精度或絕對定位精度,指的是從基準點開始,沿一方向、以一定間隔、在全行程內依次進行定位,分別計算各個定位點上的實測值與理論值之差,將差值作為單向定位精度。

3.重復精度:指的是從基準點開始,沿同一方向,向某一位置反復定位多次,分別計算每次的實測值與理論值之差,將最大差值作為重復定位精度

4.正交性:沿X軸方向移動,在Y軸上位移不變,X,Y軸位移量乘積為0,就是正交,如果產生偏移,則偏移的角度叫做正交性

5.負載能力:位移臺面的中央可承受的、可以以最大速度驅動的重量值。分為水平負載、豎直負載和倒置負載,分別指臺面水平、豎直和倒置放置時的負載。

6.平面度:位移臺臺面不同位置處的高低差,將差值作為平行度。臺面靜止時,在臺面內取若干測試位置,分別測試其距基準平面的距離,其中差為靜態平行度。

7.速度:單位時間位移改變量

8.加速度:單位時間速度變化量



其他參數解析:

線性行程、分辨率、精度常用單位:厘米(cm)、毫米(mm) 、微米(μm) 、納米(nm) 

換算:0.1cm=1mm=1000μm=1000000nm


角度行程、分辨率、精度常用單位:度(°)、毫度(m°)、毫弧度(mrad)、微弧度(μrad)、角分(arcmin)、角秒(arcsec)

換算:1°=60arcmin=3600arcsec=π/180(0.0174533)rad=17.4533mrad=1745.33urad


負載常用單位:克(g)、千克(kg)、牛(N)

換算:1kg=1000g=9.8N


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